国家知识产权局信息显示,新毅东科技股份有限公司取得一项名为“一种晶圆中心预对准装置和晶圆传输系统”的专利,授权公告号CN224844718U,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本申请提供一种晶圆中心预对准装置和晶圆传输系统,涉及半导体技术领域,包括第一卡盘以及套设在第一卡盘内的第二卡盘,第一卡盘和第二卡盘用于承载晶圆,第二卡盘分别连接有第一驱动部件和第二驱动部件,第一驱动部件用于驱动第二卡盘沿第一方向升降,第二驱动部件用于驱动第二卡盘沿第二方向移动,通过第二卡盘沿第一方向、第二方向的运动,以使晶圆的几何中心与第一卡盘的旋转中心重合,第一方向和第二方向垂直。在晶圆的几何中心与第一卡盘的旋转中心对准的过程中,通过第二驱动部件可以控制晶圆沿第二方向的移动,进而可减少晶圆运动过程中因重力变形造成的晶圆划伤问题,可以有效保证晶圆的质量。
天眼查资料显示,新毅东科技股份有限公司,成立于2014年,位于北京市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。通过天眼查大数据分析,新毅东科技股份有限公司共对外投资了13家企业,参与招投标项目111次,财产线索方面有商标信息31条,专利信息168条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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