国家知识产权局信息显示,浙江星柯光电科技有限公司申请一项名为“一种分层分区激光梯度改性的TGV玻璃通孔刻蚀方法”的专利,公开号CN122878042A,申请日期为2026年7月。

专利摘要显示,本发明公开了一种分层分区激光梯度改性的TGV玻璃通孔刻蚀方法,属于半导体用玻璃加工技术领域,包括如下步骤:(1)表面处理;(2)梯度改性处理;(3)主刻蚀处理;(4)清洗处理;(5)精修处理;(6)退火钝化处理。本发明通过分层分区激光梯度改性,搭配差异化激光单脉冲能量、扫描速率、分层扫描次数、光斑模式实现梯度改性,从源头调控玻璃各区域腐蚀活性,匹配碱蚀与弱酸精整工艺,实现通孔侧壁超光滑、锥度可控、无崩边微裂纹,提升后续金属化与RDL布线精度及可靠性,有效适配现有碱蚀+弱酸量产工艺,从源头解决TGV湿法刻蚀后侧壁粗糙、锥度失控、孔口崩边痛点。

天眼查资料显示,浙江星柯光电科技有限公司,成立于2024年,位于绍兴市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本570000万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江星柯光电科技有限公司参与招投标项目35次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息96条,此外企业还拥有行政许可16个。

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作者:情报员