压电效应通过自发极化将机械能转化为电能,凭借高机电转换效率、快响应和长期稳定性,压电材料被广泛用于传感器、能量收集器和换能器。然而,无机压电材料虽具有高压电系数和机械强度,却极端脆性,难以适应复杂曲面或弯曲折叠应用。亚纳米线(SNW)直径与线性聚合物和单链DNA相当,提供柔性一维骨架;其超高表面原子比和表面能使其可发生原子重排并扭曲,即使在非手性环境中也能产生自发结构对称破缺。这种本征结构柔性、晶格畸变和构象不对称性不依赖特定化学组成,使SNW成为柔性无机压电材料的理想候选。可穿戴生物电子(WBE)集成实时生物传感、微纳制造和无线通信,在健康管理、医疗康复和人机接口中日益重要。压电电子皮肤(PE-skin)能将机械刺激转化为电信号,适合WBE开发,但许多轻量PE-skin仍缺乏稳健的实时无线数据传输能力。利用SNW与聚合物的兼容性,制备SNW基PE-skin有望兼顾结构柔性和高压电性能,从而构建全集成无线WBE系统。人机接口(HMI)可与人体和WBE无缝整合,准确解码生理和行为意图,但现有多数系统仍面临多功能性、佩戴舒适性、长期稳定性和用户移动性之间的权衡。因此,开发基于SNW基PE-skin的无线、非侵入、多模态WBE,对实现实时、准确且用户友好的HMI系统具有重要意义。
在此,清华大学王训教授、刘清达博士合作,合成了无机压电多金属氧酸盐基亚纳米线ZnBiPMo₁₂,其具有本征柔性和手性、24.9 pC/N的压电系数及显著铁电性。基于ZnBiPMo₁₂的PE-skin(1)表现出高弹性和对0.045–0.319 N微小压力的敏感性。通过多级组装制备的无线可穿戴生物电子器件(1A)能非侵入、多模态监测人体生理信号,包括细微肌肉收缩、眨眼、呼吸和全天心率。集成机器学习系统后,基于1的面部-计算机接口(1B)可准确识别九种情绪表情和十二个口语词。这项工作不仅引入本征柔性无机压电材料,还展示了从亚纳米材料到无线WBE的可扩展制造,为非侵入多模态生理监测和先进人机交互铺平道路。相关论文以“Intrinsically flexible inorganic piezoelectric subnanowire enables wireless wearable bioelectronics for non-invasive multimodal human-machine interfacing”为题,发表在Nature Communications上。
从整体设计来看,研究团队构建了基于ZnBiPMo₁₂@PDMS的无线可穿戴集成电路系统,可将其制造为面部-计算机接口(图1)。该系统将压电皮肤、无线蓝牙、电池、集成电路与计算机相连,电压响应信号输入BPNN,经输入层、隐藏层和输出层实现表情与说话词识别。1A作为无线可穿戴集成系统贴附皮肤感知力,1B则结合机器学习完成“笑”等表情及“乐观”“谦虚”等说话词识别,体现了从压电皮肤到无线系统再到面部交互界面的完整设计。
图1 | 1A 和 1B 作为面部-计算机接口的设计与制造。
材料制备与表征方面,ZnBiPMo₁₂通过H₃[PMo₁₂O₄₀]、Zn(NO₃)₂·6H₂O、Bi(NO₃)₃·5H₂O、油胺和乙醇胺的水热反应合成,并制备BiPMo₁₂作为对照。TEM显示两者均形成高长径比亚纳米线,平均直径约1.05和1.06 nm(图2a);AFM表明厚度均为1.48 nm。高倍球差TEM显示其具有由[PMo₁₂O₄₀]³⁻构建块与金属-氧簇连接器形成的一维ABAB连接模式(图2b),并可观察到螺旋一维链,表明手性一维结构和结构对称破缺(图2c)。大量弯曲SNW及显微镜下弯曲聚集体表现出宏观柔性(图2d)。EDX显示Zn、Bi、P、Mo、N、O均匀分布,Mo:Bi:Zn摩尔比为7.0:2.9:4.1。CD光谱在250–380 nm范围内表现出正负宽CD带,证明左旋和右旋手性SNW成功制备(图2e);ZnBiPMo₁₂(L)和ZnBiPMo₁₂(R)的g因子分别为2.32×10⁻³和−3.07×10⁻³,而BiPMo₁₂(L)和BiPMo₁₂(R)分别为1.14×10⁻³和−1.46×10⁻³,说明Zn掺杂增强了晶格畸变和CD信号(图2f)。螺旋一维无机骨架及其构建块包括α-Keggin型[PMo₁₂O₄₀]³⁻、[ZnO₄]和[BiO₃](图2g、h)。
图2 | 柔性结构和手性表征。
压电和铁电性能方面,PFM测量显示ZnBiPMo₁₂和BiPMo₁₂薄膜在电场下出现清晰畴结构强度变化,最大振幅分别为0.22 nm和0.089 nm,表明表面存在纵向压电响应(图3a、b);在2 V驱动振幅下观察到典型蝴蝶曲线和滞后环,证明铁电畴可电压开关并具有自发极化(图3c)。室温P-V滞回曲线给出ZnBiPMo₁₂和BiPMo₁₂的剩余极化分别为0.457 μC/cm²和1.353 μC/cm²,饱和极化分别为1.266 μC/cm²和2.01 μC/cm²,确认其铁电性(图3d)。ZnBiPMo₁₂的压电系数d₃₃为24.9 pC/N,显著高于BiPMo₁₂的16.5 pC/N,并超过Hf₀.₅Zr₀.₅O₂ SNWs的14.8 pC/N(图3e),说明其是本征柔性无机压电材料,具有高d₃₃压电性能。
图3 | ZnBiPMo₁₂ 的压电性测量与比较。
基于1的压电压力传感测量中,16.7 wt% ZnBiPMo₁₂@PDMS薄膜可容易地拉伸、弯曲和挤压(图4a);在电极和万用表构成的测量装置中,1在不同压力下产生电压响应(图4b)。随着压力从0.045 N增加到0.397 N,平均输出电压从0.164 V增加到0.9424 V(图4c);电压与压力拟合关系为V=2.12449P+0.1039,R²=0.989,压力灵敏度为0.221 V/N,说明该PE-skin能有效监测0.045–0.397 N微小压力(图4d)。其电压响应时间为0.042 s,恢复时间为0.080 s;在0.319 N下经过12413次重复按压后输出电压仍保持稳定,展示长期稳定性和重复性(图4e)。在水中浸泡12 h或−57.1°C冷冻12 h后,电压响应仅下降6.5%和0.9%,表明耐水和耐冷性能。电流传感方面,输出电流从0.45218 nA增加到2.28356 nA,线性拟合为I=5.02144P+0.26184,R²=0.980,电流灵敏度为5.49 nA/N。压力与弯曲信号可通过峰宽区分:压力输出电压峰尖锐,峰宽约0.10 s;弯曲输出电压峰较宽,约2.42 s。不同ZnBiPMo₁₂含量(0%、5.7%、12.3%、16.7%)的薄膜在0.319 N下响应随含量增加而增大,证明ZnBiPMo₁₂是压电性主要来源,纯PDMS的小输出归因于挠曲电性(图4f)。机理上,按压时1内部发生电荷重排,上下表面产生电势差和正负电极;释放后薄膜恢复原状,电荷分布回到初始状态并产生反向电势差(图4g)。有限元模拟显示,内部应力随按压应变从0%到50%增加而增大,电势从顶面到底面降低,顶底表面电势差随应变升高而持续增加,确认1能有效将机械能转化为电能(图4h)。
图4 | 1 的压电压力传感测量。
1A的多模态人体运动监测同样表现突出。1A由无线微型集成电路系统构成,主电路板尺寸为3.5×1.7×0.7 cm³,集成开关电路、线性降压电路、电荷泵双电源电路、电荷-电压转换电路、电压放大器、低通滤波器、方波转换电路和单片机最小系统;信号放大1242倍,以0.6 ms/步采样,通过蓝牙接收系统在计算机上无线实时显示,整体封装在光固化3D打印外壳中(图5a)。将1佩戴在食指关节,弯曲角度从30°增至90°时,电压信号响应从0.325 V增至0.651 V(图5c);肘部弯曲每次产生最大正电压响应1.43 V。将1贴附于桡侧腕屈肌,重复握拳和释放时产生清晰可区分的电压信号,握拳和释放的电压峰分别为0.082 V和−0.096 V,可准确检测微小肌肉收缩,具有作为肌电接口的潜力(图5e、f)。将1贴附于太阳穴,单次眨眼产生0.173 V正电压变化和0.089 V负电压变化(图5g);一次至六次连续眨眼持续时间分别为0.25、0.56、0.76、0.92、1.30和1.50 s,符合典型人类眨眼持续时间。连续57次单次眨眼记录显示电压响应无显著变化,闭眼和睁眼时间分别为0.0413 s和0.06 s(图5i、j);疲劳眨眼闭眼持续时间为1.1–1.73 s,显著长于正常眨眼(图5k)。3个月后1A仍可轻松监测眨眼,且传感器未更换,说明其耐久性。这些结果表明1A可作为眼动追踪传感器、监测眼疲劳、用于眼控打字,并作为高灵敏无线可穿戴传感器监测微小肌肉活动。
图5 | 使用 1A 的多模态人体运动监测。
1A在生理信号监测方面同样具备多模态能力。将1A与N95口罩结合,可记录连续吸气和呼气过程(图6a),吸气与呼气响应峰分别为1.12 s和1.19 s;12个吸气-呼气循环中每个循环电压峰保持一致,每循环约2.4 s(图6b)。贴附于腹外斜肌、肋间外肌和膈肌时,1A也分别记录到对应呼吸肌活动,其中膈肌活动显示吸气产生0.4146 V正电压响应,呼气产生−0.2689 V负电压响应,表明其可作为稳健的多模态呼吸传感器。1A还可通过感知心跳、脉搏和颈动脉搏动监测心率。将1贴附于胸部皮肤,每次心跳产生约0.02 V电压波动,心率64 bpm(图6c)。置于脉搏点时,脉搏频率74.3 bpm,平均间隔0.807 s(图6d、e)。置于颈动脉时,记录到约0.251 V电压响应,对应心率77.3 bpm(图6f、g)。从8:30到23:00连续监测颈动脉搏动显示心率随时间变化:早餐后从76 bpm升至11:00的88.4 bpm,12:30降至83.7 bpm;午餐后13:00升至97.7 bpm,17:30逐渐降至67.2 bpm;晚餐后20:00略升至80.7 bpm,随后至23:00稳定在70.5–76.5 bpm(图6h)。上述结果表明1A可实时、多模态监测手指和肘部弯曲、眨眼、鼻呼吸、三类呼吸肌活动、心跳、脉搏和颈动脉搏动,并具有优异稳健性、佩戴舒适性和长期稳定性(图6i)。
图6 | 使用 1A 的多模态生理信号监测。
在面部交互方面,1B通过串联连接五个基于1的压电薄膜(a–e,尺寸1×2×0.2 cm³)并与无线微型静电计集成构建,外壳由光固化3D打印树脂制成(图7a、b)。五个薄膜分别置于右前额、上颧肌、口轮匝肌、下颌肌和喉部:a–d协同记录面部肌肉活动电压信号,e捕获喉部活动(图7c)。采用反向传播神经网络,构建BPNN1和BPNN2分别实现情绪和语音识别。情绪识别中,记录“Laugh”“Astonished”“Afraid”“Worry”“Nervous”“Anxiety”“Laugh heartily”“Fear”“Sobbing”等9种主要情绪表情,每种测量两次,一组训练、一组测试(图7d);同时记录9种轻微情绪表情和9种其他面部表情作为干扰项。BPNN1提取V₁/V₂、P⁺和P⁻等特征,由三个输入神经元、25个隐藏神经元、一个偏置和九个输出神经元组成(图7e)。测试中,BPNN1准确预测所有9种主要情绪表情,识别准确率分别为100%、99.884%、100%、100%、100%、100%、99.9862%、100%和100%,其他干扰项识别准确率接近0(图7f)。口语词识别中,记录“乐观”“谦虚”“期待”“悲观”“喜欢”“骄傲”“愧疚”“自豪”“自信”“感激”“1, 2, 3”“A, B, C”等12个主要口语词,每个记录两次,一组训练、一组测试(图7g);另用20种其他口语词作为干扰项训练。BPNN2输入32个电压信号的V₁/V₂、P⁺和P⁻特征,输出12个主要口语词标签,最终网络架构包括三个输入神经元、24个隐藏神经元、一个偏置和十二个输出神经元(图7h)。测试中,12个词识别准确率分别达到99.9995%、99.9951%、100%、99.5265%、100%、100%、100%、100%、99.9849%、100%、99.9995%和100%,其他20个干扰词识别准确率均接近0(图7i)。上述结果表明,通过BPNN,1B可作为出色的非侵入面部-计算机接口,在情绪和语音识别方面具有应用前景。
图7 | 使用 1B 和 BPNN 的情绪表情和口语词识别。
总体而言,这项工作报道了压电POMSNW——ZnBiPMo₁₂,其具有本征柔性和手性,压电系数高达24.9 pC/N,并具有显著铁电性。基于ZnBiPMo₁₂的PE-skin(1)对0.045–0.319 N范围内微小压力表现出高灵敏度。基于1的无线WBE器件(1A)在非侵入、多模态监测人体生理信号方面表现出稳健性能、高佩戴舒适性和长期稳定性。进一步将1B与BPNN集成,实现了对九种情绪表情和十二个口语词的准确识别。该工作的关键贡献包括:引入具有本征柔性的典型无机压电POMSNW;实现从压电POMSNW到无线WBE的可扩展制造;展示基于POMSNW的WBE用于个性化健康管理;推进人机接口,使基于POMSNW的WBE能够辅助行动障碍个体、促进情绪调节、支持医疗康复、增强人机协作并推动元宇宙中的虚拟社交。未来工作将使传感器更紧凑、更不显眼,方法包括:使用更小的模具减小传感器薄膜厚度和尺寸;使用更细的导线和更小的无线静电计;去除无线静电计,利用无线电磁波天线接收传感器输出电压信号产生的电磁波。
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