消息面上，ASML将统一上调在韩国供应的设备替换零部件价格，涨幅10%。新价格将从明年1月起生效，本次涨价范围涵盖EUV及DUV光刻机的全部零部件。

中国银河证券指出，晶圆扩产投资中70%-80%资金将用于设备采购，半导体设备业绩确定性最强。半导体设备国产替代进程有望提速。半导体材料&电子化学品有望持续受益存储扩产、海外涨价、国产替代三重逻辑持续兑现。

截至2026年10月12日 11:00，科创半导体设备ETF鹏华(589020)标的指数上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨1.16%，成分股京仪装备上涨8.86%，拓荆科技上涨3.89%，欧莱新材上涨3.81%，华峰测控，中科飞测等个股跟涨。

科创半导体设备ETF鹏华(589020)紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2026年9月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为华海清科、中科飞测、中微公司、拓荆科技、芯源微、华峰测控、盛美上海、沪硅产业、安集科技、富创精密，前十大权重股合计占比74.02%。