国家知识产权局信息显示，诺威量测设备公司申请一项名为“X射线光电子能谱（XPS）测量”的专利，公开号CN122893049A，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，一种XPS系统，包括：（a）处理电路，被配置为基于校准样品的XPS测量来确定XPS系统测量影响参数；以及（b）XPS光学器件，其包括：（i）照射路径，被配置为用x射线照射样品，该样品包括多种（N种）元素种类，（ii）收集路径，被配置为收集由照射产生的光电子，其中，光电子形成与N种元素种类相关联的N个XPS信号，以及（iii）x射线通量传感器，被配置为动态地测量x射线的通量参数。处理电路还被配置为直接基于N个XPS信号和XPS系统测量影响参数来表征N种元素种类。

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作者：情报员