国家知识产权局信息显示,东海县奥博石英制品有限公司申请一项名为“一种半导体石英舟取片方法及系统”的专利,公开号CN122892504A,申请日期为2026年9月。
专利摘要显示,本发明公开了一种半导体石英舟取片方法及系统,属于半导体制造设备及晶圆自动化取片技术领域,为解决高温工艺后石英舟热变形、槽位偏差和机械夹取角度波动引发晶圆磕碰、划伤、误取、卡片及碎片的问题,本发明通过热状态补偿与双侧扫描生成带坐标不确定度的槽位状态表,以不确定度加权的广义最小二乘求解取片动作参数,并按三个观测窗口融合视觉、载荷和关节误差以生成阶段标签、执行取片调度和异常回撤,实现了稳定机械手中心与角度、降低取片损伤风险并在安全条件下维持分组取片效率的技术效果。
天眼查资料显示,东海县奥博石英制品有限公司,成立于2008年,位于连云港市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,东海县奥博石英制品有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目13次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息70条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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