国家知识产权局信息显示,上海新傲科技股份有限公司申请一项名为“用于改善良率的SOI结构的制备方法及SOI结构”的专利,公开号CN122892465A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本发明涉及一种用于改善良率的SOI结构的制备方法及SOI结构。所述用于改善良率的SOI结构的制备方法包括如下步骤:选择一<111>晶向的硅片作为顶层硅片,并选择一<100>晶向的硅片作为底层硅片;至少于顶层硅片的表面形成第一氧化层;采用离子注入工艺注入氢离子至顶层硅片内,形成剥离层,离子注入工艺中氢离子的注入角度θ的取值范围为0°<θ≤7°;键合顶层硅片和底层硅片,形成初始键合结构;自剥离层剥离部分的顶层硅片,形成SOI结构。本发明解决了<111>晶向顶层晶圆在离子注入过程中的深度宽化效应问题,提高剥离后形成的顶层硅厚度的均匀性。
天眼查资料显示,上海新傲科技股份有限公司,成立于2001年,位于上海市,是一家以从事化学纤维制造业为主的企业。企业注册资本31500万人民币。通过天眼查大数据分析,上海新傲科技股份有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目92次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息268条,此外企业还拥有行政许可159个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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