国家知识产权局信息显示,安徽光智科技有限公司申请一项名为“一种快速判断材料损伤及去除的无损检测方法”的专利,公开号CN122882341A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本发明公开了一种快速判断材料损伤及去除的无损检测方法,涉及半导体制造技术领域,包括以下步骤;S01、提供待测半导体材料,所述样品至少包括已加工区域,或/和已加工表面;S02、采用椭圆偏振仪测量所述样品,获取所述样品在预设入射角度下的椭圆偏振原始数据,并据此计算得到伪介电常数随光子能量变化的曲线,所述伪介电常数包括实部,和/或虚部;S03、对所述伪介电常数随光子能量变化的曲线进行数学求导,得到导数谱。该发明可以实现快速判断材料损伤及去除的无损检测,避免了复杂的物理建模、避免了繁琐的数据拟合,避免了杂乱的组分依赖,仅仅凭借测试的原始椭圆偏振数据即可实现快速判。
天眼查资料显示,安徽光智科技有限公司,成立于2018年,位于滁州市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本90000万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽光智科技有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目105次,财产线索方面有商标信息23条,专利信息959条,此外企业还拥有行政许可92个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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