国家知识产权局信息显示,北京电子量检测装备有限责任公司申请一项名为“一种基于VSI与PSI融合的白光干涉形貌检测方法”的专利,公开号CN122881588A,申请日期为2026年8月。
专利摘要显示,本发明公开了一种基于VSI与PSI融合的白光干涉形貌检测方法,涉及三维测量技术领域,包括以下步骤:获取被测表面的白光干涉图像序列,通过驱动白光干涉仪沿垂直方向进行扫描,在保持采样间隔一致的条件下连续采集多帧干涉图像,并按照采集顺序进行编号,形成干涉图像序列。本发明通过融合VSI与PSI构建粗精一体化测量方法,在单次扫描中实现干涉级次整数与小数部分的协同重构,无需多次采集即可兼顾测量范围与分辨率。通过最小二乘相移算法精确提取相位信息,有效消除量化误差,实现亚纳米级高度测量精度。同时提升系统对振动及噪声的抗干扰能力,显著增强复杂环境下的测量稳定性与重复性。
天眼查资料显示,北京电子量检测装备有限责任公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本15550万人民币。通过天眼查大数据分析,北京电子量检测装备有限责任公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目85次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息214条,此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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