国家知识产权局信息显示，安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请一项名为“一种针对12英寸硅片CMP工艺的清洗设备及清洗方法”的专利，公开号CN122892491A，申请日期为2026年7月。

专利摘要显示，本发明公开一种12英寸硅片CMP清洗设备及方法，包括机架、清洗腔体、晶圆承载盘及喷淋机构组成。承载盘中心设真空吸附，喷淋机构含放射状内圈（≥3喷嘴）和环状外圈（≥8喷嘴），各喷嘴配独立流量控制（亚微米级传感器，比例调节阀响应≤100ms）。腔体内设光学监测点，控制单元基于反馈，经闭环控制算法或模型预测控制动态调节流量。承载盘转速分阶段控制（50‑100→300‑500→100‑200RPM）。配有循环过滤系统回收清洗液，并以正压保护气干燥。本发明通过分区喷嘴、独立流量及动态调控，实现清洗液均匀覆盖与精准供给，提升均匀性和颗粒去除效率，同时循环利用降低生产成本。

天眼查资料显示，安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司，成立于2019年，位于铜陵市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本123009.7159万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目12次，财产线索方面有商标信息16条，专利信息179条，此外企业还拥有行政许可36个。

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作者：情报员