国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备”的专利,公开号CN122892500A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本申请公开一种半导体工艺设备。所公开的半导体工艺设备包括设备前端模块、第一传输腔室、第一传输平台、第二传输腔室、第二传输平台以及多个工艺腔室;设备前端模块、第一传输腔室、第一传输平台、第二传输腔室和第二传输平台依次排布且可通断地连通,多个工艺腔室包括至少两个第一工艺腔室和至少两个第二工艺腔室,各第一工艺腔室沿第一传输平台的周向设置于第一传输平台的侧壁上,并与第一传输平台可通断地连通,各第二工艺腔室沿第二传输平台的周向设置于第二传输平台的侧壁上,并与第二传输平台可通断地连通;第一传输平台和第二传输平台中的至少一者的侧壁上设有凹槽,第一传输腔室和第二传输腔室中的至少一者的至少部分位于凹槽内。
天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目1528次,财产线索方面有商标信息74条,专利信息5977条,此外企业还拥有行政许可338个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
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