国家知识产权局信息显示,深圳市和盛半导体设备有限公司取得一项名为“一种晶圆键合不掉片装置”的专利,授权公告号CN224844719U,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本实用新型属于半导体制造技术领域,为了解决晶圆临时键合过程中,因键合环境与平台之前压差的原因导致的上平台掉片的技术问题,提供一种晶圆键合不掉片装置,包括:焊接机架,所述焊接机架上设有键合升降组件,所述键合升降组件包括有腔体升降气缸、真空上腔体和键合上平台,所述腔体升降气缸安装在焊接机架上,所述腔体升降气缸的输出轴与真空上腔体相连接,所述键合上平台安装在真空上腔体上;所述焊接机架上设有键合下平台组件。腔体真空系统利用抽速控制阀,分阶段对键合腔体抽真空,能保证平台真空始终高于腔体真空,又能防止腔体抽速太快使平台真空波动过大导致掉片。

天眼查资料显示,深圳市和盛半导体设备有限公司,成立于2024年,位于深圳市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市和盛半导体设备有限公司财产线索方面有商标信息4条,专利信息13条,此外企业还拥有行政许可1个。

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作者:情报员