十月最后一个周五晚上九点,双流空港聚光光电产业园里,中特威的组装车间还亮着灯。
六台接近式光刻设备一字排开,每一台都被技术人员围得严严实实。陈工蹲在第三台设备旁边,手里的螺丝刀还没放下,额头上的汗顺着口罩边缘往下淌。他抬头看了一眼墙上的日期板——距离十一月初集中发货,还剩不到十天。
车间门口的白板上,红色马克笔写着一串数字:订单总额1.07亿。数字下面画了三条横线,像是怕人看不见。
"老周,深圳那边又打电话来了。"车间主任赵磊举着手机从过道那头快步走过来,"问第三批设备能不能提前三天发,说他们产线等着开。"
被叫老周的人叫周明远,四十出头,中特威的技术总监。他正弯着腰检查第一台设备的对位精度,听到这话直起身,用手背擦了一下眼镜上的雾气。
"告诉他们,按原计划走。提前三天,精度复核来不及。"
赵磊苦笑了一下,转身去回电话。周明远低头继续调设备。这台机器的对位系统是他们花了两年多时间啃下来的硬骨头之一,每台设备出厂前都要经他亲手复核,差一个微米都不行。
车间另一头,刚从黄光无尘测试室出来的年轻工程师小林端着一杯凉透的茶,靠着墙根坐下。他已经连续上了十二天班,鞋套都没换就瘫在了地上。
"林工,别躺了,第五台的光源模块还要调。"组长喊他。
小林"嗯"了一声,撑着膝盖站起来,拖着步子往第五台设备走。走到一半回头看了一眼白板上那串数字,嘴角动了一下,没说话,继续走。
1.07亿。这个数字在半年前,他们连想都不敢想。
中特威是今年二月才把总部扎到双流的。在那之前,团队在中科院的一栋老楼里待了好几年,做的是光刻设备的基础研发。
周明远是中科院出来的老人,带着十几个技术骨干一起出来创业。刚出来那阵子,行业里所有人都在挤DUV和高端UV的赛道,行业会议上一开口就是"几纳米""先进制程",好像不做最尖端的就没脸说自己搞光刻。
中特威偏偏选了另一条路。
"近紫外接近式光刻。"周明远后来跟人解释这个选择的时候,总是先说这几个字,然后补一句,"海外巨头懒得深耕的细分领域。"
说白了,德国和日本的几大厂商把持着高端市场,利润厚、品牌硬,对这个不起眼的细分领域根本看不上眼。国内同行倒是有人碰过,但大多停留在实验室阶段——论文发得漂亮,一到工厂车间就掉链子:精度不稳定、良率上不去、设备用两天就得返修。
"实验室里表演厉害,工厂车间干活拉胯。"这是行业里人尽皆知的毛病。
周明远要解决的,就是这个毛病。
那两年是最难的时候。UV LED平行光源的研发卡了八个月,周明远带着团队在实验室里反复测试,光源的均匀性和稳定性始终达不到量产要求。
最焦灼的那段时间,团队里两个年轻工程师提了离职,其中一个走的时候说:"周工,我觉得这条路可能走不通。"
周明远没拦他。
当时他自己心里也没底。但他认准一件事:如果能把这个细分领域做透,瞄准的不是实验室里的论文,而是光芯片、显示半导体、LED这些实打实的量产场景,市场是真实存在的。
他后来把一句话写在了实验室门口的白板上——做能开进工厂的机器,不是能摆进展厅的样机。
双视场技术和显微对位系统的攻关几乎是同时推进的。那段时间周明远几乎住在实验室里。老婆打电话来问他回不回家吃饭,他看了一眼时间,才发现已经凌晨两点。
"你又在实验室?"
"嗯,快了。"
"你上次也说快了。"
他没接话。挂了电话,继续盯着手里的光学组件。
转折发生在光源模块突破之后。当UV LED平行光源的均匀性和稳定性终于达到量产标准的那一刻,整个实验室安静了几秒,然后有人鼓了一下掌,又很快停住了——因为所有人都清楚,这只是第一步。
但这一步至关重要。它意味着设备终于可以稳定输出符合量产要求的光源了。
接下来是组装、测试、调试。第一批设备做出来以后,周明远带着两台样机跑了七家工厂做现场验证。最远的一家在广东,他亲自跟车过去,在客户的车间里蹲了三天,看着设备接上产线,跑完第一批产品。
那家工厂的负责人看完数据,沉默了一会儿,说了句:"能用。"
就这两个字。周明远站在旁边,攥了一下拳头。
从那之后,订单开始来了。先是小批量,然后是追加,然后是排队。
今年二月,中特威把总部搬到了双流空港聚光光电产业园。园区给他们安排了总装车间和黄光无尘测试车间,面积比之前在中科院那栋老楼里的全部空间大了三倍不止。
搬过来那天,周明远站在空荡荡的新车间里看了很久。赵磊站在他旁边,问:"周工,想什么呢?"
"在想设备摆在哪儿。"
"那不是早就规划好了?"
"规划的归规划的。"周明远笑了一下,"站在这个车间里跟站在实验室里,感觉不一样。"
后来的事情比预想的快。在光显示领域,中特威的设备占有率做到了80%。这个数字意味着,过去由德国和日本厂商把持的市场,被一家从中科院出来的创业团队硬生生撕开了一道口子。
行业里有人开始打听这家公司。有人说:"成都那边有家做接近式光刻的,货不够卖。"
订单从全国各地涌进来。光芯片厂、显示半导体企业、LED生产线,客户一个接一个排队。有客户直接打电话来说:"你们什么时候能发货?我们产线等着用。"
到今年秋天,订单总额突破了一亿元。
赵磊后来跟周明远说:"一亿啊,周工。"
周明远正在看一份技术文档,头都没抬:"嗯,但十一月的货还没发完。"
赵磊摇了摇头,出去了。他知道周明远是故意的——不是不高兴,是不敢高兴。高兴了,手就会松。
双流本地的支持来得也快。当地的光电产业专项基金主动找上门,说要补产业链短板,帮中特威把上下游配齐。基金的人来车间看过一次,站在设备旁边看了半天,最后说了一句:"这东西是真的能干活的。"
周明远站在旁边点头。这句话比任何市场分析报告都让他踏实。
整个产业园现在的光电产业产值已经突破了660亿元,十八家光电相关企业聚在园区里。中特威不是最大的那家,但在这个细分赛道里,它是成都首家拿下全自动光刻设备产业化资质的企业。
这个资质意味着,他们的设备不是实验室样机,不是展厅展品,是可以直接开进工厂量产线、拿到市场准入的正式产品。
十一月初,第一批设备要发往全国各地了。
发货前一天晚上,周明远把车间里所有人都叫到一起。不是开会,是最后检查一遍。他站在六台设备中间,看了一圈。
"明天发的这批设备,不是样机。"他声音不大,但车间里所有人都听见了。"是开进工厂干活的。出了这个门,就不是我们说了算了。客户的车间,客户的产线,客户的产品。每一台的精度,我自己复核过了。"
没人说话。
"行了,干活。"
大家散开,各自回到设备旁边。车间里的机器声又响了起来,和远处奶茶店的喧嚣隔了一整个园区,却比那个热闹得多。
第二天,设备装车的时候,赵磊站在车间门口,看着叉车把裹好防尘膜的光刻设备一台台往运输车上搬。他掏出手机给周明远发了条消息:"第一批,三台,已装车。"
周明远在车间里看着第二批设备做最后的调试。他看了一眼手机,回了两个字:"收到。"
然后放下手机,弯腰继续检查第四台设备的光源模块。
明年,他们的产能要冲到三百台。后续研发的面板封装、激光直写、光刻机项目也在推进,一旦落地,就能实现从晶圆级到面板级的产品全覆盖。
这些事情周明远都知道。但此刻他脑子里只有一件事:手里这台设备的光源均匀度,还差零点几个百分点。
他拿起工具,继续调。
车间外面,双流十月末的风已经带了凉意。产业园的路灯亮着,一排一排延伸到远处。十八家企业的灯牌在夜里发着微光,像一片安静的星座。
而中特威车间里的灯,是其中最不肯熄的那一盏。
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