10月13日，光刻机概念股触底反弹，凯美特气（002549.SZ）直线涨停，蓝英装备（300293.SZ）涨超5%，张江高科（600895.SH）、华特气体（688268.SH）、茂莱光学（688502.SH）跌幅收窄。

消息面上，10月12日，汇丰控股（00005.HK）将光刻机巨头阿斯麦（ASML.US）目标价从2149欧元上调至2177欧元。