国家知识产权局信息显示，宸微设备科技（苏州）有限公司申请一项名为“晶圆吸附控制方法”的专利，公开号CN122910020A，申请日期为2026年8月。

专利摘要显示，一种晶圆吸附控制方法中，通过先对晶圆与承载表面之间的空间抽气以形成负压，对晶圆进行初步贴合与定位，因为这种预先施加的负压吸附力起到了引导和基础固定的作用，在负压满足预定条件后叠加静电吸附力，从而在初步定位的基础上，提供更大且分布更均匀的保持力，这使得施加在晶圆的总吸附力得到显著提升，能够克服晶圆自身的弹性变形抗力并将具有较高翘曲度的晶圆完全吸附平整；因此，在负压产生的负压吸附力与静电吸附力双重共同保持的状态下进行工艺处理，使得工艺期间，晶圆与承载表面之间保持紧密且稳定的贴合状态，优化晶圆在工艺过程中的温度均匀性，同时也有利于避免反应物在晶圆背部产生多余沉积，提高半导体处理工艺的质量和良率。

天眼查资料显示，宸微设备科技（苏州）有限公司，成立于2022年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3157.8947万人民币。通过天眼查大数据分析，宸微设备科技（苏州）有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息133条，此外企业还拥有行政许可5个。

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作者：情报员