国家知识产权局信息显示,杭州中欣晶圆半导体股份有限公司申请一项名为“硅片倒角加工中砂轮磨损补偿方法及其系统”的专利,公开号CN122895935A,申请日期为2026年8月。
专利摘要显示,本发明涉及一种硅片倒角加工中砂轮磨损补偿方法及其系统,所属半导体晶圆加工技术领域,该方法以每盒25枚硅片为加工单元,在每盒加工之初选取第1枚(Slot1)和第2枚(Slot2)硅片作为检测样本,分别映射对应倒角机左右两侧砂轮。通过检测两枚硅片的倒角轮廓数据并与预设基准值比较,独立判断左右砂轮的磨损状态。若数据超限,系统根据偏差量量化计算进给或角度补偿参数,经极限校验后自动调整设备参数,随后继续加工该盒剩余硅片。实现了砂轮磨损的逐盒在线检测、精准量化补偿与独立控制,有效解决了现有技术中磨损检测滞后、补偿依据不足的问题,保证了批次产品倒角轮廓的一致性,显著提升了硅片加工质量与生产良率。
天眼查资料显示,杭州中欣晶圆半导体股份有限公司,成立于2017年,位于杭州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本523559.0107万人民币。通过天眼查大数据分析,杭州中欣晶圆半导体股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目46次,财产线索方面有商标信息5条,专利信息490条,此外企业还拥有行政许可24个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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