国家知识产权局信息显示,华海清科股份有限公司申请一项名为“晶圆翻转装置及晶圆处理设备”的专利,公开号CN122910017A,申请日期为2026年4月。

专利摘要显示,本申请公开了晶圆翻转装置及晶圆处理设备,属于先进制程晶圆加工技术领域。用于解决边缘粗糙晶圆放片时倒片方向随机、易掉落损坏,且下限位件易磨损导致晶圆滑片不到位的技术问题。本申请的晶圆翻转装置包括底座、转动连接于底座的托架以及摆动设置于托架的挠爪,托架上设有上限位件和硬质耐磨抗冲击材质的下限位件。通过挠爪承接倒片方向异常的晶圆,有效解决了晶圆传输过程中倒片方向随机、晶圆易掉落的问题。在此基础上,通过设置下限位件的材质降低下限位件磨损,防止晶圆边缘与下限位件上的凹坑或划痕卡住,并通过设置引导坡面的角度引导晶圆向托架倒片,同时解决了边缘粗糙晶圆水平状态时滑片不到位的问题。

天眼查资料显示,华海清科股份有限公司,成立于2013年,位于天津市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本35365.1991万人民币。通过天眼查大数据分析,华海清科股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目327次,财产线索方面有商标信息67条,专利信息876条,此外企业还拥有行政许可38个。

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作者:情报员