国家知识产权局信息显示,苏州飞慕薄膜技术有限公司申请一项名为“一种高装载量CVD涂层刀片石墨载盘工装”的专利,公开号CN122898869A,申请日期为2026年7月。

专利摘要显示,本发明公开了一种高装载量CVD涂层刀片石墨载盘工装,包括载盘主体和中心承重杆,所述载盘主体中心孔穿设固定有作为多层载盘堆叠承重件的中心承重杆,所述中心承重杆两端预留吊装定位台阶,所述载盘主体盘面划分多个扇形装载区,相邻两扇形装载区之间预留炉内反应气体流通通道,每个扇形装载区装配若干根等距的长条凸筋,多条平行长条凸筋等距密布形成阵列卡槽,数控刀片沿所述长条凸筋长度方向密集串联排布,相邻数控刀片之间设有供工艺气体流通的缝隙。通过上述方式,本发明改进载盘装载结构并采用氧化锆中心承重杆,大幅提升刀片装载量与涂层产能,保证涂层均匀、降低刀片磕碰不良,同时大幅降低耗材成本。

天眼查资料显示,苏州飞慕薄膜技术有限公司,成立于2023年,位于苏州市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1200万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州飞慕薄膜技术有限公司参与招投标项目6次,专利信息6条,此外企业还拥有行政许可2个。

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作者:情报员