半导体晶圆厂的排气管路，看起来只是一根管子，但不同供应商送来的样品外观、口径、壁厚可能都差不多。装上去之后，有的产线跑一年没出问题，有的三个月就开始出现颗粒物超标。排查设备、气体、环境都正常，最后把管子拆下来送检，发现管壁析出的金属离子和颗粒物才是良率波动的来源。
这根软管的管壁为PTFE层，不含纤维，无油污、粉尘、杂质等异物析出。对于与晶圆接触的部件，还可订做两级洁净清洗，从材料源头降低污染风险。
管壁不含纤维：异物析出的源头控制
管壁采用PTFE层，不含纤维成分。在抽取和鼓风过程中，无油污、粉尘、杂质等异物析出。与含纤维编织层的软管相比，避免了纤维断裂脱落成为颗粒污染源的可能。适用于细小粉尘和少量纤维的输送，以及蒸汽和烟等活性介质的抽取。
两级洁净清洗：针对不同敏感等级
针对颗粒物敏感的部件，可订做二级清洗：一般清洗后，在千级洁净环境下用15MΩ以上去离子水或超纯水超声清洁，氮气吹扫，黑光灯或紫外灯目视检查，双层真空包装。针对与晶圆接触的部件，可订做一级清洗：在二级清洗基础上增加酸洗工序，采用18MΩ以上超纯水超声清洁，检测方法为VPD ICP-MS，检测金属离子残留水平。
外置螺旋龙骨与宽温区
外增强层采用外置螺旋金属龙骨加强，材质可选镀锌钢或不锈钢。在正压输送和真空抽吸中抵抗管壁鼓胀与吸瘪。外置龙骨使软管在地面拖拽时磨损集中在龙骨凸起，管壁本身不被磨到。工作温度-70℃至260℃，短时间可约300℃。具有较好的机械性能和弯曲半径，耐磨损及耐强腐蚀性能良好。
超轻可压缩结构
极轻型和可压缩结构，在设备密集的半导体厂房内便于搬运和安装。耐老化、耐候及耐臭氧性能良好，适用于长期运行的洁净空调和通风装备。
半导体排气管路的选型，外观参数只是及格线，管壁析出物和清洗等级才是决定良率稳定的关键变量。
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