国家知识产权局信息显示,河南迈晟电子科技有限公司申请一项名为“一种集成电路生产线控制系统”的专利,公开号CN122902481A,申请日期为2026年8月。
专利摘要显示,本发明公开了一种集成电路生产线控制系统,本发明涉及集成电路生产线控制技术领域,系统包括多源数据采集单元、语义网关单元、时空图神经网络预测单元、调控转换单元和光刻机曝光对准系统,多源数据采集单元实时采集当前晶圆在化学机械抛光、离子注入、传送盒存储工序中产生的时序物理场数据并构建前馈特征向量,预测单元结合晶圆空间拓扑图,通过图卷积与时序卷积融合,输出预测套刻误差指纹图,调控转换单元将该指纹图并行转换为温控卡盘、高阶对准及剂量聚焦修正参数,在晶圆曝光前完成加载执行,实现晶圆级毫秒级套刻误差前馈补偿,消除结构性滞后并保持生产线吞吐量。
天眼查资料显示,河南迈晟电子科技有限公司,成立于2017年,位于郑州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,河南迈晟电子科技有限公司参与招投标项目2次,此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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