国家知识产权局信息显示,深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种多通道图像融合缺陷增强方法及相关产品”的专利,公开号CN122905877A,申请日期为2026年9月。
专利摘要显示,本申请公开了一种多通道图像融合缺陷增强方法及相关产品,可应用于半导体技术领域,该方法包括:获取目标缺陷点位在各物理成像通道分别对应的目标芯片缺陷图、目标左侧相邻芯片参考图以及目标右侧相邻芯片参考图;对以上获取的图像进行成像强度拉伸处理,并基于成像强度拉伸处理后所得的图像构建目标复合张量;将目标复合张量输入预训练的目标UNET模型,并得到用于晶圆缺陷检出的目标缺陷差分图。如此,利用经成像强度拉伸处理后的目标芯片缺陷图、目标左侧相邻芯片参考图以及目标右侧相邻芯片参考图构建目标复合张量,并将该张量输入预训练的目标UNET模型得到用于晶圆缺陷检出的目标缺陷差分图,提高了晶圆缺陷的检出精度与信噪比。
天眼查资料显示,深圳中科飞测科技股份有限公司,成立于2014年,位于深圳市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本35016.3237万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目416次,财产线索方面有商标信息311条,专利信息1150条,此外企业还拥有行政许可48个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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