国家知识产权局信息显示,应用材料公司申请一项名为“制造互连结构的方法”的专利,公开号CN122910702A,申请日期为2025年2月。
专利摘要显示,描述了作为微电子元件制造工艺的部分的制造互连结构的方法。所述方法包括在基板上形成介电层,所述介电层包括界定具有侧壁及底部的间隙的至少一个特征。所述方法进一步包括:通过将所述基板暴露于阻挡物质来在所述底部上形成阻挡层,所述阻挡物质包含烃及至少一种添加剂;在所述侧壁上选择性地沉积阻障层;在所述侧壁上的所述阻障层上选择性地沉积金属衬垫;移除所述阻挡层;以及执行间隙填充工艺以利用间隙填充材料填充所述间隙。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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