设备太落后没法用,太先进了也不能用?
盛美上海创始人王晖就曾面临这样的窘境,在美国创业时其研发的局部电镀铜技术因过于前沿,难以应用落地。
当时半导体制程工艺刚刚达到180nm节点,而局部电镀铜技术瞄准的是30nm先进制程。从芯片制程发展看,这中间的代际差异需要近10年才能抹平。
随后盛美又研发了无应力铜抛光技术,用于解决130nm以下芯片良率低的问题。虽然收获了英特尔等客户订单,但因材料没有相应的封装技术,仍未走到市场化应用阶段。
缺乏配套的制程、材料,太超前的设备反而成为了“鸡肋”,盛美意识到市场与技术同样重要。
就在此时,上海抛来橄榄枝,盛美选择回归沃土,并将贴合市场与客户发扬到极致。
在哪里跌倒,就换条路继续走
21世纪初的上海,半导体产业蓬勃发展。
归国的尹志尧在上海创办中微公司,开启研发国产刻蚀机的征程,王晖也在一众城市中选择了上海,成立半导体设备企业盛美上海。
与在国外创业时开发电镀、抛光设备不同,这次盛美上海选择扎根清洗设备。
清洗、电镀、抛光同属湿法工艺,但清洗设备的市场规模比电镀和抛光加起来都大,芯片制造几乎每一道工序前后都要清洗掉杂质,才能保障后续环节的顺利进行。
但市场问题并没有就此解决,清洗设备市场掌握在DNS、东京电子、泛林等国际巨头手中,盛美上海又该如何抢来订单呢?
先发性和差异化或许是唯二答案。
盛美上海成功研发了全球首创的SAPS、TEBO两代兆声波清洗技术。
前者解决了兆声波在硅片表面分布不均匀的问题,让硅片得到充分清洗;后者解决了兆声波对硅片的破坏问题,这项技术有不少同行都在尝试研发,最终由盛美上海率先突破。
凭此,盛美上海的单片清洗设备拿下海力士订单,正式与海外芯片大厂达成合作。
公司表示,目前半导体清洗设备主要应用于12英寸、510*515mm晶圆清洗,在适用尺寸方面与国际巨头的类似产品没有竞争差距。
2026年上半年,公司高温SPM清洗设备取得突破,实现了15nm制程下颗粒数少于15颗的全球领先指标,为DRAM/HBM量产提供良率保障,预计到2026年底累计出货超20台。
盛美上海的差异化体现在两类清洗工艺的创新性融合。
清洗设备主要有两类,一个是槽式清洗,直接把硅片放在池子里清洗,产能高但容易混入其他硅片的杂质;另一个是单片清洗,一次只洗一片,虽然洗得干净但效率不高,硫酸等化学试剂的消耗量也大大增加。
盛美上海推出的Tahoe单片槽式组合清洗技术,先进行槽式清洗,再进行单片清洗,可以节省超80%的硫酸,为客户剩下不少成本。
正因此,即使面对国际巨头客户,盛美上海也具备一定的议价权。
2022-2026年上半年,公司毛利率维持在48%左右,波动并不明显,公司预计未来整体毛利率仍将维持在42%-48%。
据Gartner数据,盛美上海在全球半导体清洗设备市场的占有率为8.3%,位居全球第四;在国产设备中的市场份额更是高达60.5%,是国内设备企业之首,国内市场整体份额占比仅次于DNS。
长远看,盛美上海在清洗设备领域的份额占比几乎触及天花板,想要继续扩大规模,或许要像北方华创一样成为平台型设备企业。
增收不增利
盛美上海完成了清洗设备、电镀设备、前道涂胶显影设备、化学气相沉积PECVD设备、抛光设备等八大半导体设备布局,涵盖约200亿美元的市场。
其中,清洗设备覆盖了95%的工艺步骤应用,电镀设备实现技术全覆盖,所有产品都拥有自主知识产权。
在扩张中,盛美上海依旧没有忘记贴合市场和客户才是关键。
玻璃基板被视为下一代先进封装的核心载体,台积电、英特尔、三星、AMD等海外大厂纷纷下场布局玻璃基板。
把玻璃基板和晶圆封装在一起,能够有效地降低成本。据测算,300mm圆片晶圆升级为板级晶圆,芯片占用面积从64%增至93%,可以节约66%的成本。
这种面板级封装需要用到电镀设备。
早在2022年,盛美上海就开始研发面板级水平式电镀设备,如今公司在全球半导体电镀设备市场的占有率为9.6%,位列全球第二。
2026年,公司收获国内先进封装客户首台510*515毫米面板级水平式电镀设备订单,计划于2027年第一季度交付,还拿下了另一家面板封装客户310*310毫米面板级水平式电镀设备订单,将在年内交付。
盛美上海披露,截至2026年9月29日,公司在手订单总额为170.73亿元,同比增长88.2%,这个订单总额比去年营收的两倍还多。
根据现有订单情况,公司将2026年全年营收业绩指引定为82亿元-88亿元。
盛美上海的问题或许不是出在营收上,而是净利润上。
2026年上半年,盛美上海实现营收37.18亿元,同比增长13.87%,净利润为9.89亿元,同比增长42.14%,但扣非净利润同比下滑15.31%。
这意味着公司净利润增长靠的不是主营业务,而是非经常性损益。
2026年上半年,盛美上海持有的上海合晶等企业,为其带来了近4.18亿元的非经常性损益。而公司财务费用中汇兑损益达1.46亿元,引发了扣非净利润的下滑。
盛美上海大部分产品以美元计价品,部分原材料、零部件采购以美元、韩元计价,而员工薪酬、其他成本费用以人民币计价,汇率波动给公司业绩造成一定影响。
前事不忘,后事之师
盛美上海的技术总是走在行业前列,但早期不免有些悬浮,难以大规模落地。
吸取教训后,盛美上海的半导体设备精准解决了客户痛点,在手订单不断增长,曾经走过的弯路也成了宝贵的财富。
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