来源：新浪基金∞工作室

10月16日，半导体设备ETF国泰（159516）开盘涨1.33%，报0.609元。半导体设备ETF国泰（159516）重仓股方面，中微公司开盘涨1.27%，北方华创涨0.29%，长川科技跌1.18%，拓荆科技涨0.78%，华海清科涨0.57%，中科飞测涨2.78%，江丰电子涨2.37%，华峰测控涨2.00%，芯源微涨3.37%，沪硅产业涨3.29%。

半导体设备ETF国泰（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为140.08%，近一个月回报为-10.28%。