10月14日至16日,2026湾区半导体产业生态博览会(以下简称“湾芯展”)在深圳举办,新品宣讲、客户洽谈与产业链对接密集进行。
《每日经济新闻》记者(以下简称每经记者)在现场看到,过去一年,国产半导体设备的进展已经不能用“又多了几款新品”来概括。
“现在非常多的客户,会把我们和国际同行放到同台竞争的地位。”正如万里眼CEO刘桑对每经记者所言,这是非常可喜的一面。这句话从一定程度上证明了,国产半导体设备正从“能不能造出来”,转向“敢不敢放在同一张桌子上比”。
头部公司从“补空白”到“抢覆盖率”
在半导体前道设备中,离子注入机的国产化率长期偏低,与光刻机同属国产化率最低的尖端设备品类之一。华海清科(SH688120)本次带来的最新产品中束流离子注入机IHQ-900E,正指向这块“硬骨头”。
华海清科现场工作人员10月14日向记者介绍,IHQ-900E耗时一年推出,性能超过国外竞品。据悉,该设备是“国产首台性能超越国外竞品的中束流离子注入机”,整机国产化率95.6%,预计2027年实现全部国产化。
上述华海清科工作人员表示,离子注入机具有高电压、高电流、强磁场且速度快的特点,对产品安全的顾虑较大。该机型补足了国产同类产品在角度控制等方面短板,“其他国产竞品虽然也能做到,但是性能相对较弱”。目前,该产品正处于验证阶段,预计年内会实地应用到客户端。同时,该产品具备实现国产替代的潜力,能够与国外先进竞品正面竞争。
每经记者从中微公司(SH688012)了解到,在展会新品宣讲环节,公司重点推介了最新发布的两款高端半导体微观加工设备——Primo XD-RIE™极高深宽比刻蚀设备与Prefima Unicore™AM 12英寸ALD钼设备,后者填补了公司在原子层沉积钼工艺领域的技术空白。
中微公司工作人员介绍,公司已开发出54种刻蚀和薄膜产品,近几年在大力布局薄膜相关产品,也在进军量检测设备。“刻蚀产品已覆盖存储、先进封装等相关应用场景,公司的薄膜相关产品进入市场稍晚一些,目前在一些先进制程方面已有安装量。预计2030年将会覆盖60%高端设备,包括刻蚀设备、薄膜设备、量检测设备和湿法设备等。”
中微公司方面还表示,公司计划在五年内开发出二十多种新的高端薄膜设备,助力7纳米到3纳米以及更先进的逻辑器件,和300层到500层以上及更先进的存储器件需求。
测试设备从“后道把关”走向“研发前端”
除了前道环节的突破,另一场变化发生在测试环节。
“那些期待市场能够回到过去的人,必须认识到这种想法是不切实际的,市场已经不可逆转地向前发展了。”慧荣科技总经理苟嘉章日前表示。过去一年,AI服务器和数据中心对存储产品的需求快速增长,全球主要存储原厂的产能和研发资源不断向高性能产品倾斜,NAND闪存、DRAM等产品供应持续紧张。他预计,2027年可能是存储供需最紧张的阶段之一,直到2028年原厂新增产能逐步释放后,市场才有望缓解。
存储市场的变化不仅推高了芯片价格,也带动了相关制造和测试设备的需求。精智达(SH688627)董事谢思遥在“湾芯展”上对每经记者表示,今年1月和9月,公司分别获得了13.11亿元和15.76亿元的订单,这两笔金额合计就超过公司2025年营收的两倍。
不过比订单更值得关注的是,测试环节角色发生了变化。过去,测试设备更多被视为芯片制造完成后的质量把关环节;但随着HBM等高性能存储产品加快迭代,芯片堆叠层数、数据传输速度和封装复杂度不断提高,测试设备不仅需要满足更高的精度和稳定性要求,还需要更早地参与产品研发与验证。
“近几年,随着产品技术复杂度提高,测试已经逐渐贯穿从研发、工程验证到量产的全过程。”谢思遥说。对国产测试设备企业而言,机会不只是下游客户扩大采购规模,更在于高端产品升级释放的新需求。
谢思遥介绍,精智达正持续推进高性能存储芯片测试设备研发,并将业务向GPU、CPU等算力芯片测试领域延伸,以适应AI芯片对高速信号处理、复杂工作环境及测试精度提出的新要求。
挑战同样明确。相比积累了数十年工程经验的国际设备企业,国内厂商需要在较短时间内完成产品研发、客户验证和规模化交付,部分技术问题难以通过单次研发突破解决,而需要在实际应用中持续改进。“很多问题对于我们来说也是新的问题,我们将进一步联合产业链合作伙伴攻克各类技术难题。”谢思遥说。
高端仪器厂商从“单款突破”走向“多品类协同”
在电子测量仪器这一同样长期由国际厂商主导的领域,变化更为直观。
2025年“湾芯展”上,万里眼发布了新一代超高速实时示波器,其带宽突破90GHz,将国产示波器性能提升至原有水平的500%,打破了《瓦森纳协定》长达30年的技术封锁。
2026年10月14日,万里眼CEO刘桑在接受每经记者采访时表示,这一年来行业有两个显著变化:其一,万里眼的90G实时示波器瞄准计算芯片和高速互联领域(如网络交换芯片)研发,随着224G、112G等高速接口技术的规模化应用,国内客户对此类仪器的需求显著提升。其二,很多客户会把万里眼和国际品牌放到同台竞争的地位,而且在某种意义上更愿意给予国产厂商应用的机会,同时一起去找出新的价值点。
刘桑还表示,近期业界正热烈探讨先进制造业与先进生产力发展。在未来产业和新兴产业中,AI下一代智能基础设施、6G、卫星通讯等是关键方向。
今年,万里眼已围绕这些领域取得了实质性成果:针对卫星通讯所需的高频率、高带宽需求,推出了信号源与频谱仪;针对AI计算中心的互联需求,推出了用于测试PCB、高速连接器和线缆的矢量网络分析仪。
国产高端仪器厂家“从单款突破到多品类协同”的转向,在万里眼身上体现得最为直观。
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