国家知识产权局信息显示,南昌硅基半导体科技有限公司申请一项名为“一种氮化镓基半导体图形结构及其制备方法、光电器件”的专利,公开号CN122935139A,申请日期为2026年7月。

专利摘要显示,本发明公开了一种氮化镓基半导体图形结构及其制备方法、光电器件,制备方法包括:提供衬底,衬底上形成有氮化镓基半导体层;形成覆盖氮化镓基半导体层的整个上表面的保护层;在保护层的上表面形成图形化的掩膜层;刻蚀保护层露出氮化镓基半导体层;刻蚀露出的氮化镓基半导体层;去除掩膜层,保留保护层,完成氮化镓基半导体图形结构的制备;其中,保护层与掩膜层的化学组分不同;保护层被配置为在后续工艺中形成分布式布拉格反射镜的层。通过引入保护层在整个制备过程中充当物理屏障,有效隔离化学试剂与高能等离子体,避免氮化镓基半导体遭受工艺损伤风险。且保留的保护层直接作为分布式布拉格反射镜的层,缩短了制造周期,降低了生产成本。

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作者:情报员