国家知识产权局信息显示，上海至纯洁净系统科技股份有限公司、至微半导体（上海）有限公司取得一项名为“一种药液循环管路结构”的专利，授权公告号CN224860423U，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本实用新型提供一种药液循环管路结构，涉及晶圆制造技术领域，包括：多根循环管路，各所述循环管路在自身围成的平面的法线方向上分层排布，相邻层级的所述循环管路之间相错设置；每根所述循环管路的进液点和出液点沿所述循环管路的对角线分布。有益效果是循环管路在循环管路围成的平面的法线方向上分层排布并且层级之间交错布置，能够显著压缩在单片清洗设备内部的布局空间；同时，通过错层布置使管路的进液口与出液口分布于回路对角位置，有效稳定了各连接节点处的流量与压力波动。

天眼查资料显示，上海至纯洁净系统科技股份有限公司，成立于2000年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本38296.425万人民币。通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了45家企业，参与招投标项目79次，财产线索方面有商标信息74条，专利信息350条，此外企业还拥有行政许可57个。

至微半导体（上海）有限公司，成立于2017年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本53144万人民币。通过天眼查大数据分析，至微半导体（上海）有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目38次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息335条，此外企业还拥有行政许可2个。

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作者：情报员