国家知识产权局信息显示,山东有研艾斯半导体材料有限公司取得一项名为“一种12英寸晶圆POLY炉导气管”的专利,授权公告号CN224858444U,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种12英寸晶圆POLY炉导气管。该导气管为不锈钢材质,导气管主体由进气管、气管联通块、出气管三个部分构成,气管联通块呈L型,进气管和出气管焊接在气管联通块两端;所述进气管插入POLY炉管底部法兰的导气管安装孔中,并从法兰的侧壁伸出,用于连接供气源;出气管与炉内竖直的石英导气管可拆卸连接;L型的气管联通块内侧与POLY炉管底部法兰的L型面贴合。本实用新型的12英寸POLY炉导气管具有结构简单、使用方便的特点,能够实现POLY炉内石英导气管的快速更换,在实际生产中能有效延长12英寸POLY炉的PM周期,降低炉管及相关部件的更换频率,达到降本增效的目的。
天眼查资料显示,山东有研艾斯半导体材料有限公司,成立于2020年,位于德州市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本274180.16万人民币。通过天眼查大数据分析,山东有研艾斯半导体材料有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目454次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息54条,此外企业还拥有行政许可24个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
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