国家知识产权局信息显示，深圳扩维原子科技有限公司取得一项名为“真空环境下实现靶材气相沉积的沉积腔室”的专利，授权公告号CN224858428U，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种真空环境下实现靶材气相沉积的沉积腔室，包括腔室壳体、设置于所述腔室壳体内的衬底安装结构、用于对所述腔室壳体内部抽真空的分子泵以及设置于所述腔室壳体侧壁的蒸发源，所述蒸发源的数量为二，两个所述蒸发源分别对应于所述引出光学透镜以及所述四级杆与所述腔室壳体的连通处设置，所述衬底安装结构装设于一组伸缩机构上以调节竖直高度；还包括全自由度机械手和磁力驱动杆，所述全自由度机械手与所述磁力驱动杆用于配合将衬底安装于所述衬底安装结构中并进行位置调整；本实用新型以机械手与磁力驱动杆保真空提效，多样品台、冷却腔、视窗优性能，适配多靶材与场景，保障沉积精度。

天眼查资料显示，深圳扩维原子科技有限公司，成立于2023年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本851.1875万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳扩维原子科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目10次，财产线索方面有商标信息42条，专利信息42条，此外企业还拥有行政许可13个。

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作者：情报员