国家知识产权局信息显示,华虹半导体(无锡)有限公司、上海华虹宏力半导体制造有限公司、华虹半导体制造(无锡)有限公司申请一项名为“NORD闪存器件制造方法”的专利,公开号CN122934807A,申请日期为2026年6月。

专利摘要显示,本发明提供一种NORD闪存器件制造方法,提供一半导体结构,其包括衬底、栅氧化层、第一沟槽、侧墙结构及由下到上层叠的浮栅层、栅间介质层、控制栅层与浮栅氮化硅层,其中,栅氧化层形成于所述衬底与所述浮栅层之间,第一沟槽形成于所述浮栅层的上方,栅间介质层、所述控制栅层及所述浮栅氮化硅层形成于第一沟槽的两侧,侧墙结构覆盖第一沟槽的侧壁;通过第一刻蚀工艺沿着第一沟槽刻蚀预设厚度的浮栅层以形成第二沟槽;于第二沟槽的底部及侧壁形成氧化层;通过第二刻蚀工艺沿着第二沟槽刻蚀剩余厚度的浮栅层以形成字线沟槽;于字线沟槽内填充字线多晶硅层以形成字线。该NORD闪存器件制造方法制得的NORD器件,隧穿效率高。

天眼查资料显示,华虹半导体(无锡)有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体(无锡)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2953次,专利信息2232条,此外企业还拥有行政许可119个。

上海华虹宏力半导体制造有限公司,成立于2013年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2046092.7759万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华虹宏力半导体制造有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目952次,财产线索方面有商标信息39条,专利信息8004条,此外企业还拥有行政许可444个。

华虹半导体制造(无锡)有限公司,成立于2022年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本402000万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体制造(无锡)有限公司参与招投标项目379次,专利信息311条,此外企业还拥有行政许可234个。

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作者:情报员