国家知识产权局信息显示,湖南超弦科技股份有限公司申请一项名为“基于MPC的光伏LPCVD管式炉温度控制方法及系统”的专利,公开号CN122924449A,申请日期为2026年8月。
专利摘要显示,本发明公开了基于MPC的光伏LPCVD管式炉温度控制方法及系统,该方法包括:获取温度场快照;获得低阶ROM;利用EKF结合ROM由炉壁热电偶测量值反演硅片表面真实温度;以ROM为预测模型,以硅片温差为约束条件,以工艺气体流量和压力为可测扰动前馈,构建MPC优化问题并滚动求解,输出各温区最优功率设定值;将最优功率设定值作为下层PID控制器的给定值执行。本发明,建立了高保真的机理预测模型,解决了多温区强耦合与非线性的控制难题;实现了从“控炉壁”到“控硅片”的跨越,确保硅片轴向温差满足工艺均匀性要求;提前补偿吸热效应,显著缩短温度恢复时间,有效抑制了升温段超调。
天眼查资料显示,湖南超弦科技股份有限公司,成立于2008年,位于长沙市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5236万人民币。通过天眼查大数据分析,湖南超弦科技股份有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目92次,财产线索方面有商标信息18条,专利信息39条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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