国家知识产权局信息显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司取得一项名为“晶圆研磨头及化学机械研磨设备”的专利,授权公告号CN224855622U,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本实用新型提供了一种晶圆研磨头及化学机械研磨设备,其中晶圆研磨头包括研磨头主体,底部划分有N个研磨压力区域和N个研磨间隙区域,每个所述研磨压力区域均设置有压力薄膜,每个所述研磨间隙区域的底部均设置有间隙薄膜,且所述压力薄膜和所述间隙薄膜分别独立控制压力,所述压力薄膜和所述间隙薄膜均用于对晶圆施加压力;固定环,设于所述研磨头主体的底部边缘,用于固定所述晶圆。本实用新型提供的晶圆研磨头通过在N个研磨压力区域内设置有压力薄膜,以及在研磨间隙区域的底部均设置有间隙薄膜,采用独立控制压力薄膜和间隙薄膜内部压力的方式,以保证研磨头施加在晶圆表面的压力是均匀且连续的,从而提高了对晶圆表面研磨平坦化处理的效果。
天眼查资料显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析,芯恩(青岛)集成电路有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目197次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息1164条,此外企业还拥有行政许可57个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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