国家知识产权局信息显示，北京芯东来半导体科技有限公司申请一项名为“制振方法、装置、光刻设备及存储介质”的专利，公开号CN122924403A，申请日期为2026年7月。

专利摘要显示，本发明公开了一种制振方法、装置、光刻设备及存储介质，所述方法包括：获取运动台前馈信号与减振本体传感器反馈信号；对运动台前馈信号与减振本体传感器反馈信号进行预处理以提取振动特征并确定当前系统的振动等级；根据所述振动等级选择对应的主动复合控制策略；根据所述主动复合控制策略生成输出信号并驱动作动器执行制振。本发明实施例旨在解决现有技术无法智能适应复杂多变工况，以致难以在抑制效果、能效及系统稳定性间实现较优平衡的技术问题。

天眼查资料显示，北京芯东来半导体科技有限公司，成立于2023年，位于北京市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本3885.4576万人民币。通过天眼查大数据分析，北京芯东来半导体科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目17次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息59条。

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作者：情报员