国家知识产权局信息显示,芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司申请一项名为“一种浮栅型存储单元结构及其制备方法”的专利,公开号CN122934803A,申请日期为2026年8月。
专利摘要显示,本申请涉及一种浮栅型存储单元结构及其制造方法。该存储单元包括半导体衬底、栅氧化层、浮栅多晶硅层、栅间介质层和控制栅多晶硅层,由控制栅同时承担字线选通功能,浮栅两侧形成有侧墙氧化层,控制栅顶部设有硬掩模层。制造方法依次包括薄膜堆叠生长、控制栅图形化刻蚀、侧墙形成与浮栅刻蚀、字线多晶硅沉积与研磨、高选择比完全刻蚀去除字线五个主要步骤。本申请通过去除独立字线结构,显著缩减了存储单元面积、提升了存储密度,同时降低了操作电压,外围电路无需高压器件;整个工艺仅增加一步刻蚀工序,与常规逻辑工艺完全兼容,工艺改造成本低、量产风险小,可广泛应用于各类嵌入式非易失性存储器中。
天眼查资料显示,芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司,成立于2021年,位于绍兴市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本398282.0957万人民币。通过天眼查大数据分析,芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司参与招投标项目77次,专利信息170条,此外企业还拥有行政许可26个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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