国家知识产权局信息显示,东莞市国彪半导体有限责任公司申请一项名为“TGV玻璃晶圆通孔工艺技术”的专利,公开号CN122935234A,申请日期为2026年8月。

专利摘要显示,TGV玻璃晶圆通孔工艺技术;该发明所属的技术领域为:集成电路和半导体领域;玻璃晶圆加工和高端AI芯片堆叠(HBM)封装技术领域,涉及一种玻璃晶圆通孔(TGV)的加工方法。半导体玻璃晶圆通孔(TGV)工艺技术4步法能有效消除玻璃晶圆曲翘、表面应力、提高玻璃晶圆表面与附着物之间的附着力,且操作简便、生产成本低、生产效率高;且半导体玻璃晶圆通孔(TGV)4步法加工工艺技术方法能有效加工8‑12寸玻璃晶圆,实现国内半导体技术的有效突破。发明目的和主要用途是:为玻璃晶圆加工和AI芯片堆叠(HBM)封装实现有效突破;用于实现8‑12寸的玻璃晶圆通孔(TGV)的量产。

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作者:情报员