国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司取得一项名为“一种聚焦环及等离子体处理设备”的专利，授权公告号CN224874263U，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，本申请的一种聚焦环及等离子体处理设备属于半导体处理设备领域，为了解决等离子体工艺过程中基片上方等离子体密度分布不均匀的问题，本申请的聚焦环具有环形主体，其内边缘具有一主体内径，外边缘具有一主体外径；所述环形主体的下表面具有一电极容纳槽，且所述电极容纳槽沿径向的大部分宽度位于所述主体内径和主体外径的中线的内侧，该聚焦环用于本申请的等离子体处理设备，来调节等离子体工艺过程中，基片边缘上方的等离子体密度。

天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本95784.2348万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了31家企业，参与招投标项目94次，财产线索方面有商标信息78条，专利信息1754条，此外企业还拥有行政许可89个。

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作者：情报员