国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“一种改善栅极高度差的方法及半导体器件”的专利,公开号CN122934883A,申请日期为2026年9月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体集成电路制造技术领域,公开了一种改善栅极高度差的方法及半导体器件,本发明通过在NMOS区域上选择性保留光刻胶层,在PMOS区域上暴露第一刻蚀保护层,然后刻蚀位于PMOS区域上的第一刻蚀保护层和NMOS区域上的光刻胶层和第一刻蚀保护层,直至暴露出栅极结构的顶部以及PMOS区域上的栅极结构侧壁以外的半导体衬底,以使得刻蚀后的所述栅极结构的高度相同,从而不需要再执行其他操作弥补该高度差,实现后续工艺的简化。
天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本223464.5597万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目663次,财产线索方面有商标信息53条,专利信息1862条,此外企业还拥有行政许可36个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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