国家知识产权局信息显示,威弗洛得有限公司申请一项名为“使用Si生长衬底的E-mode GaN HEMT功率半导体外延晶圆”的专利,公开号CN122934874A,申请日期为2026年4月。

专利摘要显示,本发明提供一种使用Si(100)生长衬底的E‑modeGaNHEMT功率半导体外延晶圆,包括:具有Si(100)晶体结构的生长衬底;形成于所述生长衬底上的第一AlN层;形成于所述第一AlN层上且包含三维形状结构的位错湮灭层(DAL;DislocationAnnihilationLayer);形成于所述位错湮灭层上的第二AlN层;形成于所述第二AlN层上方的GaN沟道层;形成于所述GaN沟道层上的势垒层;以及形成于所述势垒层上的p型GaN层。

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作者:情报员