国家知识产权局信息显示,上海光通信有限公司申请一项名为“光刻定位标记的制备方法”的专利,公开号CN122945347A,申请日期为2025年4月。
专利摘要显示,本申请提供一种光刻定位标记的制备方法,涉及半导体技术领域。该制备方法包括于目标层上形成掩膜层;采用第一光刻刻蚀工艺图案化掩膜层,以在掩膜层中形成第一定位标记;采用第二光刻刻蚀工艺图案化掩膜层,以在掩膜层中形成第二定位标记;第一定位标记在目标层上的正投影和第二定位标记在所述目标层上的正投影错开。本申请能够避免掩膜层被刻穿,进而防止过度刻蚀位于定位标记下方的目标层,从而避免造成目标层损伤。
天眼查资料显示,上海光通信有限公司,成立于1988年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2038786.497万人民币。通过天眼查大数据分析,上海光通信有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目63次,财产线索方面有商标信息12条,专利信息136条,此外企业还拥有行政许可183个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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