国家知识产权局信息显示，深圳烯钻科技有限公司取得一项名为“一种用于STI工艺的变化倾角间断螺旋沟槽抛光垫”的专利，授权公告号CN224867046U，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种用于STI工艺的变化倾角间断螺旋沟槽抛光垫，包括：抛光垫，抛光垫上设有抛光面，所述抛光面上设置有变化倾角的沟槽，沟槽呈多个间隔设置的间断的同心螺旋线状分布，螺旋线的中心与抛光垫圆心同心，沟槽倾斜方向与抛光面形成夹角a，同一螺旋线状分布的沟槽，其倾斜方向从朝向抛光垫圆心至背向向抛光垫圆心变化，并从抛光垫的圆形中心螺旋延伸到抛光垫外部边缘。本实用新型结构沟槽的倾斜方向由从朝向抛光垫圆心至背向向抛光垫圆心变化，有利于增加对抛光液的保持力，提升了抛光液的利用率，也避免抛光液因离心力过大而被甩出沟槽。

天眼查资料显示，深圳烯钻科技有限公司，成立于2018年，位于深圳市，是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本216.4383万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳烯钻科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1次，专利信息16条，此外企业还拥有行政许可12个。

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作者：情报员