打开网易新闻 查看精彩图片
打开网易新闻 查看精彩图片

2026年10月,传来一个振奋人心的消息:南大光电的28nm ArF干式光刻胶,已经在国内头部晶圆厂实现规模化量产,量产良率做到了99.7%,一举打破日本企业长期垄断高端光刻胶的局面。

很多人听过光刻机,却不太了解光刻胶。简单说,光刻机是设备,光刻胶是芯片生产必须不断消耗的耗材,保质期短、门槛极高。在此之前,美日企业拿下全球近90%高端光刻胶市场。当年日本就用过光刻胶断供卡韩国芯片产业,外界也曾想用同样办法拖住我们国内芯片发展。

打开网易新闻 查看精彩图片

光刻胶研发,难度超乎想象。它的核心原料和成分配比,化学反应误差要卡在纳米级别,里面的金属杂质要控制到万亿分之一的级别,一点点杂质,整张晶圆就直接报废。南大光电啃下了底层材料这块硬骨头,搭建提纯体系,把金属杂质稳定控制在10ppt以内。而且光刻胶还要适配不同工厂的设备,能稳定做到99.7%良率,代表咱们真正搞定了工业化稳定生产。

早些年,不是国内企业做不出来样品,而是晶圆厂不敢随便替换进口材料。光刻胶验证就要一两年,一旦出问题损失巨大,大家都不敢轻易试。也是外部封锁倒逼改变,中芯国际、长江存储等工厂开放产线,和国产企业一起反复调试验证。现在国产光刻胶供货稳、性价比高,慢慢抢占原本属于海外厂商的市场。

打开网易新闻 查看精彩图片

这个突破意义不小。首先稳住28nm成熟制程,像新能源车、工控、物联网这些领域的芯片供给就更安全;其次还能带动上游超高纯溶剂、特种原料等化工产业一起发展;同时也是打基础,为后续浸没式ArF、EUV光刻胶研发铺路。

光刻胶这个赛道,美国最早起步,后来产业转到日本,日本一占就是四十多年。现在靠着国内庞大市场和大批科研人员埋头攻坚,芯片材料补上关键一环。

这件事也告诉我们,越是被卡脖子的地方,只要沉下心持续打磨,一点点突破,早晚能拿到属于自己的主动权。