国家知识产权局信息显示，赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司申请一项名为“一种晶圆表面残留物的处理方法”的专利，公开号CN122952886A，申请日期为2026年7月。

专利摘要显示，本申请公开了一种晶圆表面残留物的处理方法，该方法包括：将表面残留有铬副产物的晶圆置于处理腔室中；向处理腔室内通入反应气体，并对反应气体进行电离处理，得到等离子体；通过等离子体对晶圆的表面进行物理轰击，以剥离副产物；通过等离子体对副产物进行化学反应，以将副产物转化为挥发性产物并排出。本申请通过等离子体的物理轰击与化学反应的协同处理，克服了现有技术中晶圆表面铬副产物难以有效去除的问题，实现了晶圆表面残留物的高效去除。

天眼查资料显示，赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司，成立于2015年，位于北京市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本210526.32万人民币。通过天眼查大数据分析，赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司参与招投标项目28次，专利信息158条，此外企业还拥有行政许可107个。

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作者：情报员