国家知识产权局信息显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司申请一项名为“提升重掺磷大尺寸(100)硅单晶掺杂效率的掺杂装置及拉晶方法”的专利,公开号CN122942158A,申请日期为2026年8月。

专利摘要显示,本发明提供一种提升重掺磷大尺寸(100)硅单晶掺杂效率的掺杂装置及拉晶方法。该装置包括投料组件和双环式升华输送组件,均设于内热屏中,投料组件在上方并与双环式升华输送组件固定连接,后者下端超出内热屏下底面。掺杂时,红磷经投料组件进入双环式升华输送组件,在热场加热下气化,并沿内部预设气孔定向导流;下端超出内热屏的设计缩短了气态红磷至硅料液面的距离(优选1.8‑2.2mm),有效约束扩散,提升红磷分子进入硅料的效率。拉晶方法采用该装置,在等径过程中控制氩气流量80‑100slm、炉压15‑18kPa、坩埚转速0.5‑1rpm、晶棒转速12‑16rpm、拉速0.65‑1.1mm/min,可使掺杂效率提升9.6%以上。本发明无需调整拉晶工艺参数,仅改变掺杂装置即可显著提高重掺磷大尺寸硅单晶的掺杂效率。

天眼查资料显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司,成立于2015年,位于银川市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本150000万人民币。通过天眼查大数据分析,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司参与招投标项目17次,专利信息431条,此外企业还拥有行政许可27个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

本文源自:市场资讯

作者:情报员