国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司申请一项名为“具有广范围的着陆能量的多束粒子显微镜”的专利，公开号CN122953530A，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本发明揭露了一种多束粒子显微镜，其降低了二次粒子光学束路径中的像差。此解决方案适用于高达数keV的广范围的着陆能量。实现此目标的一个措施为采用改善整个投射路径设计的结构方法，特别是改善第一投射透镜在二次粒子光学束路径中的定位，其中第一投射透镜为占用安装空间的磁透镜。当在广范围的着陆能量下操作多束粒子显微镜时，第一投射透镜中的填充因子已被认为是二次粒子光学束路径中剩余像差的主要来源。另一措施为二次粒子光学束路径中的分束器配置本身的性能提升。本发明揭露了分束器配置的数种设计以及设计规则，用以在广范围的着陆能量下操作多束粒子显微镜时减少像差。

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作者：情报员