国家知识产权局信息显示,深圳市道艮科技有限公司申请一项名为“一种高精度LED半导体刻蚀铝盘的加工方法及刻蚀方法”的专利,公开号CN122938333A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明属于半导体器件制造技术领域,尤其涉及一种高精度LED半导体刻蚀铝盘的加工方法及刻蚀方法,采用可解胶粘接固定并在固化后进行在线平面度检测,形成闭环控制,可以从源头消除机械装夹应力,可以确保工件在切削前处于无应力状态,可以避免装夹变形,粗加工并自然冷却后,通过全区域面形偏差检测预判应力回弹形态和回弹量,据此确定补偿切削量,精加工时对各区域切削深度进行动态修正,以主动补偿方式抵消应力回弹误差,可以显著提升面形精度,精加工采用从中心向外缘螺旋间距逐渐增大的螺旋式分区路径,采用整体与局部相结合的走刀策略既保证工作面整体平面度,又可以针对性地强化晶圆承载区域的局部精度。
天眼查资料显示,深圳市道艮科技有限公司,成立于2024年,位于深圳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市道艮科技有限公司财产线索方面有商标信息1条,专利信息5条,此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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