国家知识产权局信息显示，山西中电科电子装备有限公司取得一项名为“一种基于PLC的半导体真空系统漏点检测系统及可读存储介质”的专利，授权公告号CN224888203U，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种基于PLC的半导体真空系统漏点检测系统及可读存储介质，属于半导体设备检测领域；解决了现有漏点检测方法效率低且实时性、自动化程度差的问题；为解决该技术问题采用的技术方案是：该系统通过在真空反应腔室与各条真空管路之间配置隔离阀，将真空反应腔室与各条真空管路隔离，并配置第一传感器检测真空反应腔室内的真空度；在每条真空管路自身内配置多个隔离阀，多个隔离阀共同作用，将每条真空管路分割为多个独立的物理区域，每个独立的物理区域内均配置有第二传感器，用于检测各独立的物理区域内的真空度，第一传感器和第二传感器相互配合可快速定位真空系统内漏点所在位置；本实用新型应用于真空系统漏点检测。

天眼查资料显示，山西中电科电子装备有限公司，成立于2010年，位于太原市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本39040万人民币。通过天眼查大数据分析，山西中电科电子装备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目87次，专利信息221条，此外企业还拥有行政许可10个。

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作者：情报员