国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“一种具有导流结构的承载头、抛光设备及清洁方法”的专利，公开号CN122956362A，申请日期为2026年9月。

专利摘要显示，本发明公开了一种具有导流结构的承载头、抛光设备及清洁方法，属于晶圆加工技术领域。针对现有技术中冲洗孔侧壁存在清洗盲区、抛光液易在孔壁结晶沉积并脱落划伤晶圆的问题，承载头包括基座组件、气膜组件及上盖，基座组件沿周向开设有阵列排布的通孔，上盖边缘区域阵列设置有多个自内向外下方倾斜延伸的斜槽，斜槽的槽底轮廓延长线投射至通孔孔壁，通孔上口边缘设有扩口结构。承载头旋转时，落在斜槽内的液体获得切向加速度，并在离心力作用下沿斜槽向外下方甩出，精准偏转至通孔内冲洗孔壁，进而冲洗气膜组件，避免抛光液在通孔内结晶沉积，从而避免结晶从承载头脱落划伤晶圆。

天眼查资料显示，华海清科股份有限公司，成立于2013年，位于天津市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本35365.1991万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目336次，财产线索方面有商标信息68条，专利信息882条，此外企业还拥有行政许可38个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

本文源自：市场资讯

作者：情报员