国家知识产权局信息显示,苏州瑞而美光电科技有限公司申请一项名为“一种蓝宝石基氮化铝复合衬底及其制备方法”的专利,公开号CN122959695A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明公开了一种蓝宝石基氮化铝复合衬底及其制备方法,将蓝宝石衬底通过载体送入等离子体氮化处理设备;在等离子体氮化处理设备内部通入气态的氮化介质源和还原介质源,所述还原介质源包含碳原子;在500‑800℃的温度下,通过等离子体辅助将氮化介质源分解成活性氮原子,将还原介质源分解成活性碳原子,在活性碳原子的催化作用下,蓝宝石表面本体原位氮化,在蓝宝石表面形成氮化铝晶体,得到蓝宝石基氮化铝;将蓝宝石基氮化铝通过高温退火,得到蓝宝石基氮化铝复合衬底。本发明采用蓝宝石本体原位低温等离子体氮化的方式在蓝宝石衬底上制备氮化铝薄膜,氮化后通过高温退火,有助于提高膜层的均匀性,减少氮化铝膜层应力。
天眼查资料显示,苏州瑞而美光电科技有限公司,成立于2013年,位于苏州市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州瑞而美光电科技有限公司参与招投标项目3次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息39条,此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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