国家知识产权局信息显示，布鲁克斯自动化(德国)有限公司申请一项名为“用于存储掩模版的储料系统”的专利，公开号CN122971791A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，一种用于存储多个掩模版、特别是EUV掩模版的储料系统，包括多个存储舱（110），每个存储舱（110）包括基板（112）和盖（114），它们限定内部空间（111），并且各自被配置和适配为在内部空间（111）中保持所述掩模版中的一个，存储舱（110）进一步适配为竖直地一个在另一个上方堆叠以提供堆叠结构（80），每个存储舱在其基板和其盖中设置有对准特征（130、132），该对准特征被配置和适配为使得存储舱能够与堆叠结构（80）中的相邻存储舱机械对准，其中至少一些对准特征（130、132）被配置和适配为允许净化气体流过它们。

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作者：情报员