国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“晶舟传输装置及半导体工艺设备”的专利,公开号CN122971217A,申请日期为2025年4月。
专利摘要显示,本申请公开一种晶舟传输装置,属于半导体技术领域。晶舟传输装置包括第一传输组件、晶舟载具、减速机构和锁止机构,第一传输组件用于传输晶舟载具,第一传输组件包括驱动源和转动杆,驱动源的输出轴与转动杆相连,转动杆与晶舟载具传动连接,转动杆可带动晶舟载具运动;减速机构的至少部分和锁止机构的至少部分分别可相对于转动杆运动以靠近转动杆,减速机构的至少部分可靠近转动杆以减小转动杆的转速,锁止机构的至少部分可靠近转动杆以锁止转动杆。半导体工艺设备包括工艺腔室以及上述的晶舟传输装置,晶舟传输装置用于通过晶舟载具带动晶舟移入或移出工艺腔室。
天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目1543次,财产线索方面有商标信息74条,专利信息5991条,此外企业还拥有行政许可338个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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